催化燃燒分直接燃燒法和催化燃燒法兩種，在進行廢氣處理時，可燃物（工業廢氣）在催化劑的作用下進行催化燃燒，相對于直接燃燒，催化燃燒因燃燒溫度低會更加的安全。
催化燃燒設備工藝流程：
（廢氣）集中收集—廢氣預處理—換熱器—預熱室—催化反應器—換熱器—凈化氣體排放于大氣層。
催化燃燒采用活性炭吸附、熱氣流脫附、催化燃燒三種工藝組合凈化廢氣，在一定溫度下，設備中的活性炭會吸附催化劑表面的有機廢氣（vocs），這部分的廢氣于自空氣中的氧發生催化氧化反應，最后被降解成無害的CO2和H2O。
催化燃燒設備可處理范圍廣泛：
1、適用于儀表、汽車、漆包線、機械、電機、塑料、電機、電器、發動機等工業廢氣。
2、含有酯類、酚類、醚類、烷類、苯類、醇類等混合性有機廢氣。
3、對于油漆噴涂、烘道、電機絕緣、印刷油墨等場所的流水線。
工業廢氣處理使用催化燃燒設備，設備的凈化效率高達99%左右，設備可根據現場的場地大小進行設置，在進行廢氣處理第一次加熱后，后面將不用進行輔助加熱，熱利用效率高達97%，減少了運行成本。
廢氣在經過處理之后將不會有NOx生成，不會造成二次污染，整個處理系統運行起來可靠穩定。
